一、什么是Mini LED

  顧名思義，“Mini”中文名稱就是“迷你”的意思。如果說小 間距LED顯示屏重在點間距之間的“小”，那么Mini LED自然就是 達到更小的級別，堪稱迷你這一級別了。如果我們追本溯源，將 會發現Mini LED這個單詞，首先源自于晶電，目前晶電透露出來 最新的有關Mini LED的消息，正是它的“可量產”進程。

  Mini LED是在小間距LED基礎上，衍生出來的一種新型LED顯示 技術，也被稱為亞毫米發光二極管，芯片尺寸介于50~200μm之間 的LED器件。

  Mini LED克服正裝芯片的打線及可靠性的缺陷， 同時結合COB封裝的優勢，使顯示屏點間距進一 步縮小成為可能，對應的終端產品的視覺效果大 幅提升，同時視距能夠大幅減小，使得戶內顯示 屏能夠進一步取代原有的LCD市場。

二、真空等離子清洗機在LED行業中的應用

  當我們把固體冰加熱時會融化成液體水，水加熱會變成水蒸 氣，氣體加熱到一定溫度或高壓電離時就會變為等離子體。

  電子離開原子核，物質就變成了由帶正電的原子核和帶負電 的電子組成的、一團均勻的“漿糊”，這些離子漿中正負電 荷總量相等，因此它是近似電中性的，所以就叫等離子體。

  等離子表面處理是通過對氣體施加足夠的能量使之離化成為 等離子體，通過利用這些活性組分的性質來處理樣品表面， 從而實現清潔、改性、刻蝕等目的。

三、真空等離子清洗機的活化過程 ：

放置產品，關上腔門，抽真空。

腔體真空度降至30Pa后，通入工藝氣體。

射頻/中頻電源起輝放電產生等離子體，對產品表面進行清洗活化。

破真空，恢復大氣壓，打開腔門取出產品，再放置產品，進入無限循環。

四、達因特智能科技在Mini LED行業的解決方案

  晟鼎針對除環氧樹脂、除膠設計腔體的方案。

考慮因素一：在真等離子除膠蝕刻中，溫度對蝕刻 效率，起到非常關鍵的作用，所以腔體內材料要耐 高溫。 

考慮因素二：不同廠家的Mini LED，因為工藝不同， 耐高溫程度不一樣，所以腔體可應用通水冷，循環水達到控溫的功能。 

考慮因素三：在真空等離子除膠蝕刻的過程中，用到的工藝氣體，有氧氣、氮氣、少量的四氟化碳， 其中氧氣，四氟化碳的化學性質，具有氧化性和腐 蝕性，所以腔體材料也要耐氧化，耐腐蝕。 

考慮因素四：Mini LED屬于非常精密的產品，所以 對處理效果的均勻性要求也是非常高，通過多方面 的測試驗證，結合以往實踐經驗，設計出一款針對 除膠行業，放電均勻性非常高的真空等離子設備。

五、Mini LED的檢驗步驟及方法

步驟一：Mini LED過等離子之前，將Mini LED通電，觀察Mini LED發光是否明亮，存在陰影面積大小并拍照保存。 （過等離子之前：燈光顏色很暗淡，存在大面積的陰影。）

步驟二：Mini LED過等離子之后，將Mini LED通電，觀察Mini LED發光是否明亮，是否存在陰影面積并拍照保存，進行前后對 比。（過等離子之后：燈光顏色很明亮，不存在陰影的面積。）

步驟二：Mini LED過等離子之后，將Mini LED通電，觀察Mini LED發光是否明亮，是否存在陰影面積并拍照保存，進行前后對 比。（過等離子之后：燈光顏色很明亮，不存在陰影的面積。）

步驟四：Mini LED板過等離子之后，根據之前的定點，在顯微 鏡下觀察Mini LED表面環氧樹脂清除情況的情況并截圖，進行 前后對比。 （過等離子之后：Mini LED芯片均己裸露，無一例外。）

六、接觸角測量儀量化等離子處理后的效果：

測試儀器：晟鼎精密SDC-200S接觸角測量儀

測試過程：取LED在處理前測試基礎接觸角度，等離子處理后， 再測試接觸角，有明顯變化。

晟鼎針對Mini LED典型案例

群創光電  客戶需求80A/S的除膠速率， 晟鼎設備在此基礎提升 278.75%。

鴻利光電 客戶需要在60分鐘以內， 除去Mini LED表面的環氧 樹脂，晟鼎設備在40分鐘

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